16k TDI 라인 스캔 카메라에 최적화된 VEO JM 시리즈
VEO JM 시리즈는 뷰웍스의 TDI 라인 스캔 카메라를 위해 맞춤 설계된 렌즈로, 뷰웍스의 16k VT 시리즈 (M95)와 함께 사용할 경우 최상의 영상 품질을 획득할 수 있습니다. 82 mm 이미지 서클의 16k / 5 ㎛ 라인 센서에 최적화된 렌즈입니다.
성능이 뛰어난 고배율 렌즈
VEO_JM DIAMOND 3.33X / F2.1 제품은 최적 배율 3.33x, 최적 조리개 F/2.1에서 최고 성능을 보이는 고배율 렌즈입니다. 색수차가 적으며 상측 기준 72 LP/mm (물체측 기준 240 LP/mm) 이상의 좁은 선폭에서 성능 저하 없이 최상의 성능을 구현합니다. VT 시리즈 (M95)와 사용 시 픽셀 당 1.5 ㎛의 해상도를 구현합니다.
- *이미지 800% 확대
- *Fiber 동축 조명 사용
- *Vieworks VERI-PANEL 사용
높은 결함 검출력
높은 배율과 해상도 덕분에 초미세결함 검출에 더욱 용이합니다. 문턱값 (threshold value) 15로 설정 시 Pinhole 결함의 경우 0.6 ㎛, Island 결함의 경우 1.1 ㎛ 이상 검출이 가능합니다. Open, Short 결함을 대상으로 할 경우 Pinhole 결함보다도 한층 높은 검출력을 보입니다.
*검출력 평가는 검증용으로 사용되는 VERI-PANEL과 동축 조명으로 사용되는 광부품에 따라 미세하게 달라질 수 있습니다.-
평판 디스플레이
-
반도체
-
직물검사
Performance
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Parameter
Specification
Remarks
Magnification range
3.33 (3.2 ... 3.4)
F/# range
F/2.1 ... F/4.0
Optimum F/2.1
Numerical aperture
0.18
Object Plane
Max. sensor size [㎜]
82
Infinite F/#
F/2.1
Focal length [㎜]
121
Depth of field [㎛]
16.4
@ P. CoC 10 ㎛
Distortion
< 0>
Wavelength [㎚]
436 ... 645
Visible
Working distance [㎜]
39 (40 ... 38)
B/S ... Object
Beam splitter size
25 × 25 × 80
Total length [㎜]
665 ± 2
from Object to Sensor
Interface
V110 mount
0.75 pitch
Iris
Changeable
Relative illumination
> 95%
Weight [g]
3101
Optical Parameters
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Contents
Parameter
Value
Chief Ray Angle (Max.) in object plane
CRA
4.2
Effective focal length
f’eff [㎜]
121.5
Front focal length
SF [㎜]
-3.47
Back focal length
S’F’ [㎜]
27.25
Principal plane distance
HH’ [㎜]
-19.23
Pupil magnification
β‘P
0.95
Entrance pupil position
SEP [㎜]
125.06
Exit pupil position
S’AP [㎜]
-87.57
Vertex width
Σd [㎜]
193.01
